Скоростное алмазное шлифование плоских керамических деталей электронных приборов

Сидоров Д.Е., Колесов А.Г.

Севастопольский государственный университет, Севастополь

Ключевые слова: керамика, шлифование, скорость резания, абразивный материал.

Аннотация. В статье рассматривается влияния скорости шлифовании керамических изделий на качество получаемой поверхности. Проводились исследования скоростного алмазного шлифования алмазными чашечными кругами плоских керамических деталей на примере подложек микросхем толщиной 1 мм. Определили производительность шлифования, оценивая объемом снятого материала в единицу времени, эффективную мощность, удельную энергию для съема единицы объема материала, шероховатость полученной поверхности, стойкость и износ кругов. Экспериментально установлено, что процесс шлифования с постоянной силой прижима круга характеризуется снижением производительности, так как по мере затупления алмазные зерна все меньше внедряются в обрабатываемый материал, и наступает момент, когда резание прекращается. Зернистость шлифовального круга 100/80 является предельной в связи с тем, что более крупнозернистые круги образуют сколы по краям деталей. Исследования показали, что эффективность алмазного шлифования керамических деталей может быть значительна повышена за счет увеличения скорости резания.

High-speed diamond grinding of flat ceramic parts of electronic devices

Sidorov D.E., Kolesov A.G.

Sevastopol State University, Sevastopol

Keywords: ceramics, grinding, cutting speed, abrasive material.

Abstract. The article discusses the influence of the speed of grinding ceramic products on the quality of the resulting surface. The studies of high-speed diamond grinding with diamond cup wheels of flat ceramic parts were carried out on the example of microcircuit substrates with a thickness of 1 mm. We determined the productivity of grinding, estimating the volume of material removed per unit of time, effective power, specific energy for removing a unit volume of material, the roughness of the resulting surface, durability and wear of the wheels. It has been experimentally established that the process of grinding with a constant wheel pressing force is characterized by a decrease in productivity, since as the diamond grains get blunted, they are less and less embedded in the material being processed, and there comes a moment when the cutting stops. The 100/80 grinding wheel grit is marginal due to the fact that coarser-grained wheels form chips along the edges of the parts. Studies have shown that the efficiency of diamond grinding of ceramic parts can be significantly improved by increasing the cutting speed.