Способ нанесения алмазоподобного PVD-покрытия на многогранные подложки

Королев А.В.

Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А., Саратов

Охлупин Д.Н.

ООО ТехноТерм-Саратов», Саратов

Синев И.В.

Саратовский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского, Саратов

Ключевые слова: покрытие, вакуумная камера, многогранная подложка, поворотный стол, шпиндель, адгезионная прочность.

Аннотация. Предложена технология формирования алмазоподобного PVD-покрытия на многогранных подложках в вакуумной камере. В вакуумной камере размещают поворотный стол, на котором установлены вращающиеся синхронно с ним шпиндели. Ось симметрии многогранных подложек совмещают с осью вращения шпинделя. На шпиндели устанавливают многогранные подложки. Направление вращения шпинделей противоположно направлению вращения поворотного стола. С внешней стороны поворотного стола установлен PVD-источник. Показано, что вблизи PVD-источника каждая многогранная подложка должна располагаться одной из своих граней в направлении к источнику. После каждого поворота вокруг оси поворотного стола по направлению к источнику должна располагаться следующая грань подложки. Такая технология обеспечивает высокую адгезионную прочность, однородность покрытия на всех гранях подложек и максимальную производительность нанесения покрытия. Приведено математическое выражение, обеспечивающее требуемое для осуществления предложенной технологии соотношение между числом граней подложки и частотами вращения поворотного стола и шпинделей.

Method of applying diamond-like PVD coating on polyhedral substrates

Korolev A.V.

Saratov State Technical University named after Gagarin Yu.A., Saratov

Okhlupin D.N.

Technotherm-Saratov LLC, Saratov

Sinev I.V.

Saratov State University named after N.G. Chernyshevsky, Saratov

Keywords: coating, vacuum chamber, polyhedral substrate, turntable, spin-del, adhesive strength.

Abstract. The technology of PVD coating formation on polyhedral substrates in a vacuum chamber is proposed. A rotary table is placed in the vacuum chamber, on which rotating spindles are mounted synchronously with it. The axis of symmetry of polyhedral substrates is combined with the axis of rotation of the spindle. Polyhedral substrates are installed on the spindles. The direction of rotation of the spindles is opposite to the direction of rotation of the turntable. A PVD source is installed on the outside of the turntable. It is shown that near the PVD source, each polyhedral substrate should be located with one of its faces in the direction of the source. After each rotation around the axis of the turntable in the direction of the source, the next face of the substrate should be located. This technology provides high adhesive strength, uniformity of the coating on all edges of the substrates and maximum coating performance. A mathematical expression is given that provides the ratio required for the implementation of the proposed technology between the number of faces of the substrates and the rotation frequencies of the turntable and spindles.