Влияние температуры испаряемого материала на параметры плазменного потока и свойства покрытий

Кузнецов В.Г.

Институт проблем машиноведения Российской Академии наук, Санкт-Петербург

Ключевые слова: плазма, вакуумная дуга, температура, катод, покрытия, испарение.

Аннотация. Анализируется влияние температуры катода вакуумно-дугового испарителя на структуру и эксплуатационные свойства покрытий. По мере выработки катода может произойти существенное изменение свойств потока плазмы даже при застабилизированных параметрах разряда. Предложено для поддержания температуры катода на заданном уровне изменять ток дугового разряда во времени в процессе испарения катода. Получены математические выражения для расчета временной зависимости тока дугового разряда и расчета эрозии катода во времени.