Физико-механические свойства пироуглеродных покрытий для работы в условиях высокочастотных нагрузок и высоких температур

Кузнецов В.Г.

Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург

Ключевые слова: пиролитический углерод, углеводороды, плазма, температура, химическое разложение, покрытие, микроструктура, твердость, плотность, термическое расширение.

Аннотация. Разработана новая технология нанесения покрытий из пиролитического углерода на изделия, которая относится к способам плазмохимического осаждения из газовой фазы. Особенность состоит в том, что плазма вакуумно-дугового разряда с графитового катода одновременно используется как для нагрева подложки и поддержания ее температуры на заданном уровне, ее очистки перед нанесением пироуглеродного покрытия, так и для разложения газообразных углеводородов или паров жидких углеводородов на активные радикалы. Исследованы структуры и свойства покрытий.