АПвМ. - 2019. - №7
https://doi.org/10.26160/2309-8864-2019-7-137-139
Шероховатость карбидокремниевых пластин после алмазно-абразивной обработки
Алехин С.С.
Полный текст (Full text) PDF
Ключевые слова: карбид кремния, абразивная обработка, шероховатость поверхности.
Аннотация. В процессе выполнения финишного абразивного утонения карбидокремниевых образцов керамика подвергается хрупкому механическому разрушению с образованием трещин в нарушенном слое, а также лунок от абразивных зерен на обрабатываемой поверхности. Возникновение указанных дефектов определяет качество выпускаемой полупроводниковой продукции, а их минимизация способна обеспечить достижение требуемых электротехнических показателей изделий на основе карбидокремниевых материалов. Качественное, высокопроизводительное шлифование керамики требует разумного подбора рабочих параметров технологического процесса, а также определения факторов, нарушающих целостность поверхностных и нарушенных слоев обрабатываемого материала.
